目錄:愛義信工業(yè)科技（上海）有限責(zé)任公司>>無氧無塵烘箱>>晶圓烘箱>> CTCO晶圓烘箱
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 不銹鋼無塵加熱器 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 8千-1.5萬 | 內(nèi)膽材質(zhì) | 鏡面不銹鋼 |
| 內(nèi)膽尺寸 | W800*D600*H1000mmcm | 外形尺寸 | W1300*D900*H1800mmmm |
| 溫度波動 | ±0.5℃℃ | 溫度范圍 | RT+10~350℃℃ |
| 儀器種類 | 精密烘箱 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,電氣 |
晶圓烘箱外觀結(jié)構(gòu)：
★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪,、打磨、酸洗,、磷化等表面防銹處理后烤漆,，工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理
★工作室內(nèi)百級,，采用進口 H14耐高溫高效過濾器,，過濾率0.3μm粒子99.995％以上
★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料，表面溫度＜45℃
★門框密封采用無氟硅橡膠密封條,，耐高溫,，抗老化
★隔板可調(diào)整高度及增減數(shù)量
晶圓烘箱風(fēng)路系統(tǒng)：
★采用密封內(nèi)循環(huán)風(fēng)路，減少氮氣消耗
★采用倒U型風(fēng)道結(jié)構(gòu)設(shè)計,，箱內(nèi)兩側(cè)單向水平送風(fēng),，風(fēng)道倉內(nèi)強壓送風(fēng)
★特殊可調(diào)導(dǎo)風(fēng)板設(shè)計，保障工作室內(nèi)送風(fēng)均勻
★大功率三相異步耐高溫長軸馬達,，不銹鋼渦輪扇葉（出廠動平衡調(diào)整）結(jié)合不銹鋼蝸牛殼結(jié)構(gòu)結(jié)合兩側(cè)不銹鋼沖孔風(fēng)板,，風(fēng)力強勁，送風(fēng)均勻,，平穩(wěn),，工作噪音<65dB
溫控系統(tǒng)：
★不銹鋼無塵加熱器，潔凈無塵
★PLC+7寸彩色觸摸屏,，HMI人機交互系統(tǒng),，中文操作界面，全自動程序運行模式,， PID智能演算,，自動恒溫，超溫保護,，傳感器斷線保護,，斷電記憶功能,，帶氧含量,、溫度值，工作狀態(tài)（排氧,、維持,、加熱,、電磁閥、及故障等）監(jiān)控界面,、程序設(shè)定界面,、歷史曲線界面、歷史數(shù)據(jù)功能,，可通過USB導(dǎo)出數(shù)據(jù),，搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件
★采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級,，自動恒溫,，智能PID演算，帶30段程序升溫,，帶傳感器斷線警報,，AT自整定，超溫控制,，斷電記憶功能,，控溫準(zhǔn)，穩(wěn)定性好
★高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器
安全系統(tǒng)：
★按鍵鎖
★超溫保護
★電流過載保護
★漏電保護
★接地保護
規(guī)格參數(shù)：
| 設(shè)備型號 Model | CTCO-180(A/B) | CTCO-270(A/B) | CTCO-480(A/B) |
| 控溫范圍 Operating Temp. Range | RT+10~350℃ | ||
| 溫度分辨率 Temperature resolution | 0.1℃ | ||
| 溫度波動度 Control stability | ±0.5℃ | ||
| 溫度均勻度 Temperature uniformity | ±1.5℃（ａｔ100℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±2.5℃（ａｔ200℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±3.5℃（ａｔ300℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±5.0℃（ａｔ350℃ 恒溫空載狀態(tài)下） | ||
| 潔凈度 Cleanliness | 百級 Class100/ 千級 class1000 | ||
| 高效過濾器 HEPA | H14耐高溫高效過濾器,，過濾率0.3μm粒子99.995％以上 | ||
| 氧含量 Oxygen content | <20ppm | ||
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