潔凈室氮?dú)夤袷且环N用于保護(hù)光敏材料等對空氣中微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備,。主要通過向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮?dú)?，從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。結(jié)構(gòu)由上,、下兩部分組成,，上部為氮?dú)獍l(fā)生器，下部為儲存?zhèn)}和過濾系統(tǒng),。氮?dú)獍l(fā)生器采用電解技術(shù),，將普通空氣中的氧氣和氮?dú)夥蛛x，得到高純度的氮?dú)?，其純度可達(dá)99.99%以上,。儲存?zhèn)}內(nèi)裝有氮?dú)鈨蓿^濾系統(tǒng)則包括粗濾,、精濾和活性炭吸附三個(gè)部分,，以去除殘留的雜質(zhì)和異味。
潔凈室氮?dú)夤?/strong>通過氮?dú)獍l(fā)生器產(chǎn)生高純度氮?dú)?，并將氮?dú)馔ㄟ^管道輸送到工作區(qū),。工作區(qū)內(nèi)的空氣被排出，使得微粒和濕氣不會進(jìn)入工作區(qū)域,，從而保證工作區(qū)的環(huán)境干凈,、無塵、無水汽等,。同時(shí),，氮?dú)夤駜?nèi)儲存?zhèn)}和過濾系統(tǒng)可以去除殘留的雜質(zhì)和異味，確保供氣的氮?dú)饧兌炔皇苡绊?。主要?yīng)用于光學(xué),、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中對精密加工和材料制備要求高的工作環(huán)境,。例如,，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，可以用于保護(hù)光刻膠在接觸式光刻機(jī)上的穩(wěn)定性,，防止有害微粒和濕氣對光刻膠的污染,。
優(yōu)點(diǎn)：
1.高純度氮?dú)猓嚎梢蕴峁└呒兌鹊獨(dú)猓_保工作區(qū)的環(huán)境干凈,、無塵,、無水汽等。
2.安全可靠：氮?dú)夤駜?nèi)部設(shè)有安全閥和泄壓裝置,，確保氮?dú)夤竦陌踩\(yùn)行,。
3.節(jié)能環(huán)保：氮?dú)獍l(fā)生器采用電解技術(shù),，無需化學(xué)反應(yīng)，避免了有害物質(zhì)的排放,，并且具有節(jié)能的優(yōu)點(diǎn),。
4.易于操作：氮?dú)夤竦牟僮骱唵畏奖悖瑑H需按下開關(guān)即可啟動,。
潔凈室氮?dú)夤袷且环N用于保護(hù)對微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備,，其主要原理是通過向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮?dú)猓瑥亩鴮⒖諝庵械挠泻ξ⒘：蜐駳馀懦?。它適用于光學(xué),、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中對精密加工和材料制備要求高的工作環(huán)境,，并具有高純度氮?dú)?、安全可靠、?jié)能環(huán)保,、易于操作等優(yōu)點(diǎn),。
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