PICOSUN™P-1000系統(tǒng)專門對于3D結(jié)構(gòu)物體 進(jìn)行批量涂層加工，例如： 機(jī)械零件,、玻璃或金屬片,、硬幣、珠寶以及醫(yī)療植入器械,。主要的應(yīng)用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋 層,， 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙,、創(chuàng)新 的設(shè)計使得PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)在具  有制備高均一性的高質(zhì)量ALD薄膜的同時能 夠有很高的產(chǎn)量,， 并且是市場上保養(yǎng)、維護(hù)時 間低,，購置成本最小的ALD系統(tǒng),。這些都已 經(jīng)在實際生產(chǎn)中得到證實,。

可靠,、快速且易于維護(hù)的PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)代表了工業(yè)化ALD工藝水平！

PICOSUN™P-1000襯底尺寸和類型

•    大小不等的3D結(jié)構(gòu)物件（例如： 機(jī)械零件,、 玻 璃或金屬片,、 硬幣、 珠寶以及醫(yī)療植入物等）

工藝溫度

•    50 – 400°C

標(biāo)準(zhǔn)工藝

•    Al2O3, ZnO, TiO2

基片裝載

•    通過裝載工具進(jìn)行手動裝載（例如： 叉車）

前驅(qū)體

•    液態(tài),、固態(tài),、氣態(tài)、臭氧源

•    源瓶余量傳感器,，提供清洗和裝源服務(wù)

•     6根獨立源管線,， 最多加載10個前驅(qū)體源