光刻機用冷水機中閥門的安裝方法

光刻機用冷水機中閥門的安裝方法

　　在光刻機用冷水機中,，閥門的主要功能是控制制冷劑的流量和方向,。在日常使用中，經(jīng)常使用閥門,。當行業(yè)冷水機需要停止或打開時,，需要使用閥門。由于其日常使用頻率很高,，因此在安裝過程中應(yīng)多加注意,，以確保其正常使用而不會影響工業(yè)的穩(wěn)定性冷水機,。

　　1.閥門應(yīng)安裝在易于拆卸和維護的地方。在安裝各種閥門時,，請注意制冷劑的流動方向,，不要以相反的方向安裝它們。

　　2.安裝光刻機用冷水機的法蘭閥時,，須在法蘭板和閥法蘭上加高壓石棉板,，并根據(jù)閥門上法蘭槽的深度確定高壓石棉板的厚度。當閥門較大而槽較深時,，應(yīng)使用較厚的石棉板,，以免它們之間的凹凸面界面容易留有間隙且密封不緊密。組裝法蘭閥時,，請確保所有螺栓受力均勻,，否則，凹凸面容易產(chǎn)生偏斜,。

　　3.截止閥的安裝應(yīng)使工作流體從閥的??底部流到上部,。在水平管道上安裝時，閥桿應(yīng)垂直向上或傾斜一定角度,，并且閥桿不得向下,。如果閥門位置難以接近或過高，可以將閥桿水平安裝以方便操作,。

　　4.在為光刻機用冷水機安裝止回閥時,，閥芯應(yīng)能夠自動打開。對于提升止回閥,，閥芯的線和水平面應(yīng)相互垂直,。對于旋啟式止回閥，應(yīng)確保閥芯板的旋轉(zhuǎn),，并且閥芯板須水平安裝,。

　　5.靠譜閥應(yīng)直接安裝在設(shè)備出口的截止閥上，閥體上的箭頭應(yīng)與工作介質(zhì)的流向一致,。

　　6.電磁閥須水平安裝在設(shè)備的出口處,，并位于定的位置。

7.光刻機用冷水機中的熱力膨脹閥也須水平安裝,。