半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C(jī)（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的準(zhǔn)確控制,，主要由熱交換器,、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備,。
半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C(jī)控溫精度優(yōu)于±0.3℃，可在-85℃～250℃任意工況切換,，具有良好的溫度跟隨性,；
半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C(jī)具有故障自診斷功能，當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時及時報(bào)警并顯示在觸摸屏上,；
半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C(jī)全密閉管道式設(shè)計(jì),，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫時會自動補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)；
西門子 S7-1200PLC,，模糊PID控制算法,，具備串級控制算法，導(dǎo)熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設(shè)定可控制,；
半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、醫(yī)療制藥行業(yè),、LED/LCD器件制造行業(yè)、航天航空領(lǐng)域,、裝備制造行業(yè)等,。
