在元器件行業(yè)中，半導體、芯片的要求比較高,，過程冷卻設(shè)備Chiller可以測試在不同環(huán)境下元器件的性能狀況，還有一個是在封裝組裝生產(chǎn)下不同的溫度測試以及其他性能測試,，避免產(chǎn)品投放市場面對不同使用環(huán)境,，導致電子元器件不可用。
無錫冠亞研發(fā)的半導體半導體專用溫控裝置也稱為過程冷卻設(shè)備Chiller主要用于半導體制程中對反應(yīng)腔室溫度的準確控制，主要由熱交換器,、循環(huán)泵,、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備,。
過程冷卻設(shè)備Chiller控溫精度優(yōu)于±0.3℃,，可在-85℃～250℃任意工況切換，具有良好的溫度跟隨性,；設(shè)備具有故障自診斷功能,，當設(shè)備出現(xiàn)故障時及時報警并顯示在觸摸屏上；全密閉管道式設(shè)計,，模糊PID控制算法,，具備串級控制算法，導熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設(shè)定可控制,。
過程冷卻設(shè)備Chiller主要應(yīng)用在芯片的溫度沖擊和溫度循環(huán)測試,，芯片的高低溫循環(huán)測試，疲勞失效測試,，芯片,、模塊、集成電路,、電子元器件等性能測試,，可靠性分析等。
