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一、多路氣體配置,、配氣,、混氣流量的控制柜/箱 產(chǎn)品概述：

        -- 主要用于多種氣體混合配氣；外觀簡潔,、體積小,，操作簡單、靈活,；

        -- 可配置多條氣路,，每條氣路可單獨(dú)配置氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)；

                       （我司的氣體流量控制器量程范圍：0~2SCCM~6000SLM),；

        -- 集成了嵌入式觸摸控制顯示屏,，控制每個(gè)氣路的流量；

        -- 操作靈活,、可塑性強(qiáng),，可以根據(jù)需求調(diào)整、更換每個(gè)氣路的氣體流量控制器,；

        -- 箱體內(nèi)的氣體流量控制器,，可根據(jù)實(shí)際需求選配；

        -- 連接管路采用不銹鋼(可根據(jù)實(shí)際需求配置成軟管）,；

        -- 耐壓 3Mpa,，10Mpa（更高壓力請具體溝通）

二、多路氣體配置,、配氣,、混氣流量的控制柜/箱 主要適用于：

            多氣路氣體流量控制，氣體配氣、氣體配置,、稀釋,、混氣等使用場景。

        （ 如需個(gè)性化定制,，請另行咨詢溝通）