目錄:賽非特科學儀器(蘇州)有限公司>>多束系統(tǒng)>> JIB-4700F雙束加工觀察系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,綜合 |
JIB-4700F雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F能進行高分辨觀察,、高速分析、高速加工的FIB/SEM裝置,。
隨著先進材料構(gòu)造的微細化和制造過程的復雜化,,形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評估技術(shù)也對分辨率和精度有了更高的要求,。為了滿足這些需求,,JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級混合圓錐形物鏡,、GB模式和in-lens檢測器系統(tǒng),,在1kV低加速電壓下,實現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,與最大能獲得300nA探針電流的浸沒式肖特基電子槍組合,可以進行高分辨率觀察和高速分析,。FIB鏡筒利用最大探針電流為90nA的高電流密度的Ga離子束,,對樣品進行高速加工。利用FIB高速截面加工后的高分辨SEM觀察和使用EDS(能譜儀)及EBSD(晶體取向分析系統(tǒng))等各種分析裝置,,可以進行高速分析,。此外還標配了三維分析功能,能以固定的間隔自動進行截面加工并同時獲取截面的SEM圖像,。
高分辨率SEM觀察通過采用電磁場疊加的圓錐形物鏡,、GB模式和in-lens檢測器,在1kV低加速電壓下實現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,。
高速分析浸沒式肖特基電子槍與最佳光闌角控制鏡組合,,大探針電流分析時也能保持高分辨率。
高速加工FIB鏡筒利用高電流密度的Ga離子束,對樣品進行高速加工,。
加強了檢測系統(tǒng)利用新開發(fā)的同步檢測系統(tǒng)(包括in-lens檢測器),,最多能實時觀察4個檢測器的圖像。
擴展性可支持EDS,、EBSD,、冷凍傳輸系統(tǒng)、冷凍樣品臺,、空氣隔離傳輸系統(tǒng)(Air-isolation transfer vessel)等豐富的選配附件,。
三維觀察、三維分析高分辨率SEM和各種分析單元(選配項)組合,能對圖像和分析數(shù)據(jù)進行三維觀察,。
樣品臺聯(lián)動功能利用樣品提取系統(tǒng)(Sample Pick-up System,,選配項)和樣品臺聯(lián)動功能,能簡單地提取TEM樣品,。
圖像疊加(picture overlay)系統(tǒng)通過和附帶光學顯微鏡的樣品提取系統(tǒng)組合,,將光鏡圖像疊加在FIB圖像上,能容易地定出FIB的加工位置,。