AE 射頻電源 RFG 5500  MN3155051-015, 5000W 13.56MHz, ASIS, available, in good condition, can ship. PN：27-115617-00; MN：3155051-015,。

AE 射頻電源 RFG 5500  MN3155051-015是經(jīng)過長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制,，在半導(dǎo)體濺射,、蝕刻,、CVD、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現(xiàn),。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力,，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力,，成膜速度快,，效率高，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用,，能夠在一定程度上的提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設(shè)計,，小巧便捷,，能夠降低客戶的使用成本。

RFG 5500參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE (Advanced Energy)

設(shè)備型號：RFG 5500

AC 電源輸入：~208V,，3 phase~,，50/60Hz，10.0kW

RF 射頻輸出：13.56MHz,，5000W

設(shè)備散熱：水冷散熱