MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器，在實(shí)機(jī)驗(yàn)證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力,。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制,，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程濺射、CVD,、PECVD,、蝕刻等工藝中，且具有優(yōu)秀表現(xiàn),。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力,，在半導(dǎo)體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高,，質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn),，在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率，具有十分廣泛的應(yīng)用,。

MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS                                                                                                      

設(shè)備型號(hào)：53-S30-64

AC 電源輸入：3 phase~ ,，380/400 VAC ±10%，16A,，50/60Hz

RF 射頻輸出：63.87MHz,，18KW Pulsed，540Watts,，50Ω

通訊接口：Remote,，RS-232C

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱