DAIHEN 高頻射頻電源 NX-FGA-30C 40.68MHz 3200W RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有高可靠性的高新能射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。該系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力,，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中,，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性,。設(shè)備整體采用了緊湊設(shè)計(jì),，有效節(jié)約了機(jī)臺空間，從而降低客戶的使用成本,。DAIHEN FGA系列射頻電源響應(yīng)速度快,，射頻控制精準(zhǔn)，在薄膜工藝中具有較快的成膜速度,，對降低能源損耗具有一定效果,。

DAIHEN 高頻射頻電源 NX-FGA-30C 40.68MHz 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：NX-FGA-30C

AC電源輸入：3 phase~，200V~,，27A,，50/60Hz

RF射頻輸出：40.68MHz，3200W

通訊接口：DeviceNet,，Analog I/F,，Debug

設(shè)備散熱：水冷散熱

設(shè)備重量：45kg