DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FRM-50D RF Match 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的設(shè)計(jì)優(yōu)秀,、性能可靠的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器,。匹配效率高,，速度快,，能夠高效地降低反射,，減少射頻損耗，提升能源效益,，降低客戶的使用成本,。DAIHEN FRM系列射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器響應(yīng)速度快，能夠?qū)Ψ瓷涔β式?jīng)行快速偵測和控制,，從而對(duì)等離子工藝經(jīng)行高性能,，高可靠性和精確控制。專為半導(dǎo)體和關(guān)鍵的薄膜應(yīng)用設(shè)計(jì),，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓制程中,，FPD行業(yè)的LCD，OLED,，封裝產(chǎn)業(yè),，以及微機(jī)電產(chǎn)業(yè)中3D集成TSV工藝中。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FRM-50D RF Match 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號(hào)：FRM-50D

DC Input：24V,，7A

RF 輸入頻率：40.68MHz / 12.88MHz

輸出功率：3000W / 5000W

通信接口：DeviceNet,，Debug，Pulse In/Out

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：25kg