MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W 返回列表頁(yè)

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產(chǎn)品型號(hào)MKS LVG3527A

品牌MKS/美國(guó)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地揚(yáng)州市

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更新時(shí)間：2023-11-23 11:22:02瀏覽次數(shù)：455次

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產(chǎn)品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

供貨周期	現(xiàn)貨	貨號(hào)	LVG3527A-11BA-05
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	MKS	型號(hào)	LVG3527A
M/N	LVG3527A-11BA-05	P/N	660-072825-625
頻率	27MHz	輸出功率	3500W
設(shè)備狀態(tài)	Refurbished

MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的穩(wěn)定可靠的高性能射頻電源，具有優(yōu)秀的成膜能力,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中,。

詳情介紹

MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源,。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì),，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻,，CVD和濺射等應(yīng)用,，堅(jiān)固耐用,，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性,。MKS LVG系列射頻電源能夠能實(shí)現(xiàn)對(duì)射頻的精準(zhǔn)控制，具有優(yōu)秀的成膜能力,，在半導(dǎo)體薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用,。

MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：LVG3527A

AC 電源輸入：200~208V，3 phase~ /PE,，50/60Hz,，30AMP

RF 射頻輸出：27.12MHz，3500W

通信接口：Analog I/O,，RS-232C,，EtherNet，Reserved

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：2gal/min（7.5L/min）,，水溫5℃~35℃,，MAX水壓 60PSI/414kPa

設(shè)備重量：32kg（70lbs）