MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源,。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計,，能夠有效的降低客戶的使用成本,。設(shè)備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用,，堅固耐用,，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。MKS LVF系列射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制,，具有優(yōu)良的成膜能力,，在半導(dǎo)體薄膜工藝中有廣泛應(yīng)用。

MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS                                                                              

設(shè)備型號：LVF3527A

AC Input：3 phase~ PE,，208V,，30A，50/60Hz

RF Output：27MHz,，3500W

通信接口：RS-232C,，Remote Panel，Analog I/O

設(shè)備散熱：風冷+水冷散熱

水冷進水需求：水冷流速2Gal/min（7.5L/min）,，水溫 5℃~35℃,，Max 水壓60PSI（414kPa）

設(shè)備重量：32kg（70lbs）