KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器,，是面向核心等離子體應用的業(yè)界前沿的可重復電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計,，能夠有效的降低客戶的使用成本,。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用,，堅固耐用,，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性,。KYOSAN JFK系列射頻電源可以實現(xiàn)對射頻輸出的精準控制,，可以在一定程度上提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。

KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：KYOSAN

設備型號：JFK125TP-TC2

AC 電源輸入：200~208V,，3 phase~+G,，60A，50/60Hz

RF 射頻輸出：3.2MHz,，12.5KW（cw）,，20KW（PEAK）

通訊接口：Analog I/F，Debug,，Device Net

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：水冷流量 8L/min

設備重量：45kg