MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W 是一款性能穩(wěn)定可靠性高的射頻電源,，廣泛應用于半導體制程中,，整體采用了緊湊設計，小巧緊湊,，能夠有效的降低客戶的使用成本,。MKS EDGE Series 射頻電源是專為薄膜加工設備設計的可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計算機和電子設備所需的集成電路或芯片的半導體制程的重要部件,，具有優(yōu)秀的成膜能力,，能夠快速成膜，提高產線效率,。MKS EDGE系列生產過程中對制造工藝進行了嚴格控制,，保證了該系列電源實際使用過程中的優(yōu)良性能和精密控制。

MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W 參數(shù)規(guī)格

品牌：MKS

型號：EDGE4001A

AC Input：3 phase~,，200~208V,，25A，50/60Hz

RF Output：3000W CW（3.8KW PEAK）,，0.9~1.1MHz

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MIN水流流速 1Gal/min,，MAX進水水壓 80PSI

設備重量：19kg，42lbs