DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 RMN-50P RF Matching Box 是一款經(jīng)過機臺長期驗證的性能穩(wěn)定，具有高可靠性的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器,。DAIHEN RMN系列射頻匹配器響應(yīng)速度快,，匹配精度高，能夠有效地將射頻傳輸至負載點,，反射低損耗小,，能源效益高，能夠?qū)Φ入x子工藝進行高性能,，高可靠性和精確控制,。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 RMN-50P 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：RMN-50P

AC 電源輸入：100V~200V，1 phase~,，1.5A,，50/60Hz

輸入功率：5000W（Max）

RF射頻頻率：13.56MHz                             

整合精度：1% or less （Power Ratio）^*1

整合速度：3秒以內(nèi)

通信接口：Monitor，Display,，RS-232C，HV（24V）,，Relay

散熱：水冷+風(fēng)冷

設(shè)備尺寸：410 * 388 * 174 mm

設(shè)備重量：15kg

DAIHEN RMN-50P RF Matching Box 特點

1.優(yōu)化定制設(shè)計適應(yīng)用戶負載阻抗和機械接口

2.優(yōu)秀的“預(yù)測與校正"算法實現(xiàn)高速,、準(zhǔn)確的自動調(diào)優(yōu)

3.可編程用戶參數(shù)集（最多8組）