SHINDENGEN 高頻射頻電源 XR-P10030 DC Unit 是高頻射頻發(fā)生器的DC電源供電組件,，性能高效可靠，與SHINDENGEN射頻電源配套使用,，廣泛的運(yùn)用在CVD,、PECVD等半導(dǎo)體制程中。設(shè)備整體采用緊湊設(shè)計(jì),，能夠有效的降低客戶的使用成本,。

SHINDENGEN 高頻射頻電源 XR-P10030 DC Unit 技術(shù)參數(shù)

品牌：SHINDENGEN

型號(hào)：XR-P10030L-C1

AC Input：200~220V ~ ±10%，7.8kVA,，50/60Hz,，3 phase~

Output（DC Unit）：VO 40V~170A；POW1 +15V~6A,，-15V~0.3A,；POW2 24V~1.5A

通信接口：RF CONT，EXT. CONT,，RS-232C,，Pr moni

散熱方式：水冷散熱

進(jìn)水要求：水流速度4.2L/min以上

設(shè)備重量：31kg

售后服務(wù)：本公司有完善的售后服務(wù)保障體系，產(chǎn)品一律由本公司特制的防爆箱裝箱承運(yùn),，方便快捷,，減小客戶因停機(jī)更換電源所帶來(lái)的損失。若電源設(shè)備在保修期內(nèi)因質(zhì)量問(wèn)題發(fā)生損壞下機(jī),，可免費(fèi)返修,。此外本公司擁有備機(jī)數(shù)量龐大的備機(jī)庫(kù),，設(shè)備型號(hào)齊全,，客戶機(jī)器送修期間，可以通過(guò)設(shè)備租賃保證產(chǎn)線的正常工作,。