MKS 遠程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS是經過長期驗證的具有優(yōu)良性能和高可靠性的高性能遠程等離子體源,，是沉積和蝕刻室清潔工藝的關鍵子組件，消除了工藝副產物從室壁積聚,，增加工藝工具的壽命,，并減少薄膜污染的來源。ASTRON Series RPS 廣泛應用在半導體各制程的清潔環(huán)節(jié)中,，可以以各種不同的配置安裝在硅晶圓或大面積基板工藝室上,。ASTRON Series RPS效果良好且更加經濟可靠，為CVD室清潔,，F(xiàn)PD（平板顯示器）提供所需的反應氣體室清潔，太陽能室清潔,，光刻膠堆灰,，氧化，氮化和化學消減,。

MKS 遠程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS技術參數(shù)

設備型號：Astron HF 15L

AC輸入：200 ~ 208V,，3 phase ~，50/60Hz，440A

散熱方式：水冷散熱

水冷水壓：100 PSIG（Max.）

通信接口：RS-232 / Cust I/O