ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 射頻發(fā)生器 通過采用高效的射頻放大器實現(xiàn)設備的緊湊和輕巧設計，射頻電源內置自動匹配控制器功能，射頻電源的功率控制和匹配系統(tǒng)控制可以單獨通過主機進行。主要應用領域包括濺射和化學汽相淀積,、等離子體刻蝕、射頻離子源,、中和劑等,。

ULVAC射頻電源 RFS Series 特點

功率范圍：0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器：通過具有良好的功率轉換效率的射頻電路結構，節(jié)約能源

高速自動匹配：用高速算法實現(xiàn)高速自動匹配

射頻功率發(fā)生器內部配備了自動匹配功能：與發(fā)電機組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的,，還能手動操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱,，配合內部控制器操作

支持靈活的控制配置：可對外進行模擬和串行通信控制

高可靠性：設計中結合了多年的設備制造經(jīng)驗

ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 規(guī)格

AC 輸入：AC250V，1A,，3 phase,，50/60Hz，1.3KVA

RF 輸出：500W,，27.12MHz

輸出阻抗：50Ω

諧波失真率：-35dB或更低

設備重量：19.5k

散熱方式：水冷散熱