AE 直流電源 ASCENT 60K DC Power Supply采用主動電弧管理,，而非通用預(yù)設(shè)電弧響應(yīng)，每 1 kW 輸出能量小于 0.4 mJ,，通過電弧條件確保工藝穩(wěn)定且可重復(fù),，針對更高功率應(yīng)用的主/從配置，更高的功率等級,，減少電弧損壞,。隨著制造技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，新材料和陰極設(shè)計對工藝穩(wěn)定性和鍍膜的可重復(fù)性提出了更大的挑戰(zhàn),。對于任何工藝材料和陰極設(shè)計,，Ascent Series電源都能提供穩(wěn)定且重復(fù)性高的功率輸出。AMS 采用*的電弧管理,，即使在提供高額功率的同時也可以使工藝快速恢復(fù),。極快的恢復(fù)速度，還意味著電弧產(chǎn)生的能量極低,，從而避免襯底損害,。

AE 直流電源 ASCENT 60K DC Power Supply 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號：Ascent 60K

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，~480V,，100A,，50/60Hz

DC 電源輸出：800V，140A,，60KW

通訊接口：Service,，Ethernet，User,，RS-232C,，Remote，Ext Arc Link,，M/S Link

設(shè)備散熱：水冷+風(fēng)冷

水冷進(jìn)水需求：MIN進(jìn)水水流 4.0GPM,，MAX進(jìn)水水壓 6.9bar（690KPa）

AE ASCENT 60K 優(yōu)點(diǎn)：

1.獲取優(yōu)質(zhì)鍍膜和高產(chǎn)量

2.減輕薄膜、襯底和設(shè)備損壞

3.在苛刻的電弧條件下,，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的產(chǎn)量和供電

4.易于集成和控制

AE ASCENT 60K 特點(diǎn)

1.Arc Management System  (AMS) 技術(shù) — 客戶可以對金屬和陶瓷靶材進(jìn)行預(yù)設(shè)

2.Set Point Compensation 技術(shù)

3.Arc Sync 技術(shù) — 主/從搭配最多可至 12 臺電源

4.Ethernet,、EtherCAT®,、DeviceNet®、Profibus,、RS-232/485,、Ethernet/IP 和模擬通信