ULVAC 射頻網(wǎng)絡匹配器 MBX-1310L 1000w RF Matching Box 是一款專為ULVAC RFS Series 射頻電源設計并配套使用的匹配器,。

ULVAC MBX Series RF Matching Box 射頻網(wǎng)絡匹配器 特點

1.整體設計緊湊,，輕量化

2.ULVAC RFS系列射頻電源專用配套匹配器

3.殘余反射波功率小于0.3%

4.設備整體設計可靠性高，可以有效降低客戶的使用成本

ULVAC 射頻網(wǎng)絡匹配器 MBX-1310L 1000w 射頻匹配網(wǎng)絡 規(guī)格

射頻輸入頻率：13.56 MHz

額定功率：10 ~ 1000 W

輸入連接接口：N型

允許輸出電壓：≤ 2.5kVpp / ≤ 2.5kVdc

允許輸出電流：≤ 30A

負載抗阻：0.5 Ohm ≤ R ≤ 10.0 Ohm（在規(guī)定電壓和規(guī)定電流范圍內）

殘余發(fā)射波功率：輸入行波功率的0.3%以下或10W以下,，以較大者為準

工作環(huán)境溫度：10℃ ~ 40℃（無冷凝）

工作環(huán)境要求：避免陽光直射,、高溫、灰塵,、振動,，不含腐蝕性氣體

散熱方式：風冷散熱

設備外形尺寸：375mm * 350mm * 120mm（不包括突出部分）

設備重量：8公斤