COMDEL 低頻射頻電源 CLX2750 350KHz 2500W RF GENERATOR 射頻發(fā)生器是一款優(yōu)秀,、可靠的低頻射頻電源，CLX系列的設(shè)計是為了滿足RF驅(qū)動等離子體系統(tǒng)在半導(dǎo)體加工中的性能需求,，應(yīng)用范圍包括蝕刻,、RIE、平行板,、ICP,、RF濺射、CVD和PVD,，以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應(yīng)和介質(zhì)加熱過程,。

CLX系列低頻射頻電源的功率范圍從600W到10KW，固定頻率從20KHz到2MHz,，頻率調(diào)諧能力高達(dá)10帶寬,。該系列設(shè)備的固態(tài)設(shè)計具有高可靠性，擁有成本低,。

COMDEL 低頻射頻電源 CLX SERIES 特點

1.低頻射頻電源,，頻率為20KHz~2MHz

2.穩(wěn)定,、可靠、低功率,，功率范圍為600W~10KW

3.真空系統(tǒng)

4.較高頻率調(diào)諧能力,，高達(dá)10

COMDEL 低頻射頻電源 CLX2750 350KHz 2500W規(guī)格

AC輸入：208V~，3phase,，50/60Hz,，15A

輸出頻率：350KHz，24VDC 輸出電流

射頻輸出：2500W,，354 VRMS，50 OHM

水冷進(jìn)水需求：Min 水流 6L/min,，Max 水壓414 kPa（60 psi）,，Max 水溫25℃

通訊接口：Analog I/O