MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W 高性能射頻電源 是MKS具有高可靠性的射頻等離子發(fā)生器，GHW 系列射頻發(fā)電機在 13.56 MHz 的頻率下提供不同額定輸出功率的設備選擇,。該系列設備非常適用于集成電路,、平板顯示器和數據存儲設備制造過程中的等離子增強化學氣相沉積 (PECVD)、高密度等離子 CVD (HDPCVD),、蝕刻和其他薄膜應用,。

MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W

規(guī)格

類型：GHW 系列 13.56 MHz 射頻等離子發(fā)生器

頻率：13.56MHz ±0.005%

AC輸入：200-208V,，3/PE~3W+G，38A,，50-60Hz

輸出功率：GHW-55A：5500 W          

負載阻抗范圍：無限

射頻穩(wěn)定性/雜散輸出：無條件穩(wěn)定運行限制內的任何負載 < -45dBc

諧波輸出和失真：< -40dBc

射頻連接器：N型

界面：標準：RS-232 Subminiature Type-D 9 針數字,；可選的自定義接口卡可用。

讀出：數字讀數顯示頻率和正向,、反射和負載功率,。

機架安裝：提供 EIA（標準）19 英寸適配器

冷卻系統(tǒng)：水流為7.5L/min，水溫5℃~35℃,，水壓413kPa / 60psi