AE LFGS 1250C 射頻電源 150-300KHz 1250W RF Generator是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證的具有靈活多用途的變頻射頻發(fā)生器。AE LFGS系列射頻電源適用于各種不同的半導體和通用等離子體工藝應用,，包括濺射,、反應離子蝕刻、等離子體沉積,、聚合反應和表面處理,。AE LFGS Series 電源設備采用緊湊的19英寸機架安裝式風冷設計，安裝過程簡單,，可節(jié)省寶貴空間,。LFGS電源采用半橋式D類放大器設計，具有市場上較低的反射功率,。

AE LFGS 1250C 射頻電源 150-300KHz 1250W 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：LFGS 1250C

AC 電源輸入：187~240V,，10A

RF 射頻輸出：1250W，150~3000kHz

通訊接口：Diagnostic,，Matching,，User Port,，RS-232C，CEX In/Out

設備散熱：風冷散熱

AE LFGS 1250C 優(yōu)點

1.支持多種不同應用

2.具有市場上較低的發(fā)射功率

3.易于安裝

4.高效利用寶貴的空間

AE LFGS 1250C 特點

1.變頻

2.風冷式散熱

3.改進的操作菜單

4.有效前面板

5.脈沖模式（0~10KHz）CEX操作模式2個模擬用戶端口

6.RS-232,、以太網(wǎng)和Profibus通信