AE Pinnacle Plus Series 脈沖直流電源采用易于集成的封裝,，為反應(yīng)工藝提供脈沖直流解決方案的各種優(yōu)勢,，可提高過程效率,、降低成本,，同時具有出色的靈活性和自由度。與復(fù)雜昂貴的交流電源解決方案相比,，AE Pinnacle Plus Series 電源設(shè)備結(jié)合了標準直流技術(shù)和脈沖直流技術(shù),，可提供更高的沉積率、更高的可重復(fù)性能和出色的薄膜質(zhì)量,。

AE Pinnacle Plus 直流電源 10KW DC Power Supply 可在反向脈沖期間清除電荷,，防止產(chǎn)生電弧，通過頻率和占空比控制調(diào)節(jié)工藝,，該系列電源設(shè)備采用緊湊型風冷設(shè)計,，可在主/從配置中擴展。

AE Pinnacle Plus 直流電源 10KW DC Power Supply 技術(shù)參數(shù)

Power

Single Output ：1.5 kW HALO (high accuracy, low output), 5 kW (single- and dual-output models), 10 kW

Dual Output ： 5/5 kW, independently controlled

Voltage

Up to 800 VDC in a single, wide voltage range (no taps)

Frequency

Adjustable from 0 Hz (DC) to 350 kHz

Repeatability

+/- 0.1% of rated power

Accuracy

+/- 1% of setpoint or +/- 0.2% of full rated power (whichever is greater)

Communication Interfaces

Analog, RS-232/485, Profibus

AC Input

208, 400, and 480 VAC models available

優(yōu)點

1.更高的沉積速率和良品率

2.出色的薄膜均勻性和質(zhì)量

3.減輕電弧導(dǎo)致的襯底傷害

4.優(yōu)秀的工藝靈活性和自由度

5.高重復(fù)性的表現(xiàn)

特點

1.頻率可在5~350KHz范圍內(nèi)調(diào)節(jié)

2.可變占空比可達45%

3.寬電壓范圍 - 單輸出寬阻抗范圍

4.出色的電弧控制

5.可選雙輸出,，用于多真空腔生產(chǎn)