PEⅡ Series 低頻系列具有增強電弧控制功能和內部負載匹配,，適用于40KHz反應濺射應用,。該系列電源設備按照雙磁控管濺射的標準設計,，作為真空清潔工具可靠有效,，可用于多種PECVD應用。

PEⅡ Series 電源設備可嚴格調節(jié)功率,、電壓或電流輸出,，測量精度為1%，兼容可編程邏輯控制器（PLC）,，提供 40 KHz 脈沖寬度調制 (PWM),，提供兩種不同的電弧處理電路，浮動輸出可在任何一側接地,。AE PEⅡ 5K 低頻電源 40KHz 5KW LF Power Supply采用整體水冷的散熱方案,。

優(yōu)點

1.可靠性久經驗證，可有效提高系統(tǒng)利用率

2.精確調節(jié)功率,、電壓或電流

3.可達到高靈活性和模塊化

4.增強電弧控制

5.寬輸出范圍

特點

1.5KW 和 10KW 可選（針對60KW的主/從配置）

2.內部負載匹配（10：1阻抗范圍）

3.兩個不同的電弧處理電路

4.高效緊湊的水冷設計

5.符合CE標準

6.兼容Advanced Energy LMII 10K 匹配網絡,，可在更高電壓下操作

AE PEⅡ 5K 低頻電源 40KHz 5KW LF Power Supply技術參數(shù)

Power ：5 and 10 kW models (primary/secondary capable for higher powers)

Output Frequency ：40KHz

Voltage Range ：300 to 950 V via seven selectable taps

ARC Management ：Both voltage and current detection

Cooling ：Water