AE Paramount Plus Series 射頻電源采用了面向新興等離子應用的多級脈沖和脈沖波形控制,，為客戶提供了可靠的脈沖控制等優(yōu)秀技術和可定制功能。

AE Paramount Plus Series 射頻電源擁有精確的射頻和脈沖控制,，能夠快速響應等離子體變化,，設備內置診斷工具。

AE 射頻電源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 可實現精密的射頻調節(jié),、復雜的脈沖操作和*的數據采集,。Paramount Plus Series 設計覆蓋廣泛的射頻能量范圍——從400KHz~60MHz，輸出功率從1.5KW~15KW,，可以提供客戶需要的可重復性和可靠性,。

技術參數

功率等級：3 or 6 KW

頻率：27MHz、40MHz,、60MHz,，頻率調諧±5%

可用接口：RS-232、25針模擬,、以太網,、DeviceNet、Profibus,、EtherCAT

AC Input：200/240VAC,，400/480VAC

工頻：50/60Hz

散熱：風冷和水冷

工作環(huán)境溫度范圍：+5°C ~ +40°C，+41°F ~ +104°F

高級功能：多級脈沖,，電弧管理,，CEX

AE 射頻電源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 優(yōu)點:

1. 精密控制射頻

2. 提高等離子提穩(wěn)定性

3. 加速等離子體轉換

4. 縮短工藝時間

5. 提高工藝可重復性和腔室匹配度

特點:

1. 通過精密調節(jié)功率輸出提升射頻穩(wěn)定性

2. *的多級脈沖

3. 脈沖同步和監(jiān)測

4. 實時功率和阻抗測量

5. *的FastDAQ數據采集系統(tǒng)