Pinnacle直流電源平臺具有優(yōu)秀的工藝一致性和控制功能,，從而大大減少了工藝變化，提高了產(chǎn)量,。利用精確,、可重復的功率和優(yōu)勢、低輸送電弧能量,，生產(chǎn)優(yōu)良的薄膜,，實現(xiàn)工藝效率的優(yōu)化，電源采用主/從配置的可靠,、緊湊型風冷設計,。

AE 直流磁控電源 Pinnacle 6K 6KW DC電源突出的工藝穩(wěn)定性和控制能力，可有效的減少差異和提高良品率,。緊湊的外形集合了多種功能,，包括優(yōu)秀的電弧管理,、產(chǎn)生低儲存能量、快速電弧響應以及較寬的全功率運行阻抗范圍,。

技術(shù)參數(shù)

Power

Single Output ：6,，10，12 or 20KW

Dual Output    ：6/6 and 10/10 KW,，independently controlled

Voltage

Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)

Repeatability

+/- 0.1% of rated power

Accuracy

+/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater)

Communication Interfaces

Analog, RS-232/485, Profibus

AC Input

208, 400, 440, and 480 VAC

AE 直流磁控電源 Pinnacle 6K 6KW DC電源

優(yōu)點

1.降低運作和安裝成本；

2.實現(xiàn)快速電弧響應,；

3.配置電弧響應,；

4.優(yōu)化工藝效率；

5.精密的控制工藝,。

特點

1.低儲存能量 — 每 1 kW 輸出小于 1 mJ,；

2.無抽頭；

3.輸出可重復性為 ±0.1%,；

4.目標調(diào)節(jié)周期 (TCC) — 將新靶標的調(diào)節(jié)時間縮短,；

5.焦耳模式 — 優(yōu)化能量供應。