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富士工業(yè)超聲波液體濃度計(jì) FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用
可根據(jù)檢量線的交換測(cè)量各種半導(dǎo)體藥液的濃度,。
發(fā)信器小型、輕量,，可直接在線裝置。
免保養(yǎng)設(shè)計(jì),。
接液部分全部采用（PFA)材料,。
小型輸出設(shè)計(jì)，對(duì)藥液沒有影響,。
富士工業(yè)超聲波液體濃度計(jì) FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用產(chǎn)品介紹：
超聲波液體濃度計(jì)單成分用
半導(dǎo)體制造用
FUD-1Model-13
測(cè)量原理
超聲波在液體中非常易于傳播
超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響
「濃度變化」→「密度變化」→「音速變化」
本產(chǎn)品利用超聲波的特性,，高精度的測(cè)量溶液的濃度
測(cè)量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示
可根據(jù)檢量線的交換測(cè)量各種半導(dǎo)體藥液的濃度
發(fā)信器小型、輕量,，可直接在線裝置
免保養(yǎng)設(shè)計(jì)
接液部分全部采用（PFA)材料
小型輸出設(shè)計(jì),，對(duì)藥液沒有影響
單成分濃度計(jì)的特點(diǎn)
實(shí)時(shí)濃度測(cè)量可能，濃度管理系統(tǒng)構(gòu)筑簡(jiǎn)單
模擬DC4～20mA及數(shù)字RS232C標(biāo)準(zhǔn)輸出
標(biāo)配測(cè)量錯(cuò)誤輸出和警報(bào)輸出
標(biāo)配自我診斷功能·錯(cuò)誤信息提示
小型·輕量小型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能
采用PFA的接液構(gòu)件,、小輸出設(shè)計(jì)對(duì)藥液沒有影響
優(yōu)點(diǎn)
高精度連續(xù)計(jì)測(cè)可能
無需定期調(diào)整,、校對(duì)，無需維護(hù)
設(shè)置時(shí)的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置
由于實(shí)時(shí)輸出反饋也容易
用途
在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）
在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）
富士工業(yè)超聲波液體濃度計(jì) FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用參數(shù)：
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