EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合,。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級,。機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,，因此高度可靠,。
英國愛德華EH1200羅茨泵 增壓泵

應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾,、真空包裝,、鋼脫氣、薄膜覆層,、真空冶金,、低密度風(fēng)洞、空間模擬,、真空浸漬,、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥,、CO2激光

功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下,、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性,。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置,。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕,。
先進(jìn)的軸封技術(shù),，處理艙中不會出現(xiàn)油污染防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造,。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降低,。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要最高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能,。此外,，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn),、運行噪音小,，而這些特點正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

技術(shù)數(shù)據(jù)