臺(tái)州5噸/小時(shí)電子超純水設(shè)備廠家的工藝簡(jiǎn)介,，基于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)特點(diǎn)整理：

臺(tái)州5噸/小時(shí)電子超純水設(shè)備廠家

一,、核心工藝路線(xiàn)

電子超純水制備工藝主要分為三類(lèi)，5噸規(guī)模設(shè)備以反滲透（RO）+電去離子（EDI）組合工藝為主流,，兼顧環(huán)保,、穩(wěn)定性和自動(dòng)化需求：

1. 傳統(tǒng)離子交換工藝（較少采用）

• 流程：
  原水 → 多介質(zhì)過(guò)濾 → 活性炭過(guò)濾 → 精密過(guò)濾 → 陽(yáng)床 → 陰床 → 混床 → 超純水箱 → 后置保安過(guò)濾器

• 特點(diǎn)：

• 初投資低，但需頻繁酸堿再生,，運(yùn)維成本高且污染環(huán)境14,。

• 適用于小型實(shí)驗(yàn)室或低頻次用水場(chǎng)景。

2. 反滲透（RO）+離子交換組合工藝

• 流程：
  原水 → 預(yù)處理 → RO系統(tǒng) → 混床 → 超純水箱 → 后置過(guò)濾 → 用水點(diǎn)

• 特點(diǎn)：

• RO降低混床負(fù)荷,，減少酸堿用量,，但仍有部分化學(xué)再生需求14。

• 適用于中等規(guī)模電子工廠,，平衡成本與環(huán)保性,。

3. 反滲透（RO）+電去離子（EDI）工藝（主流方案）

• 流程：
  原水 → 預(yù)處理 → RO系統(tǒng) → EDI模塊 → 超純水箱 → UV殺菌 → 后置保安過(guò)濾器 → 用水點(diǎn)

• 核心優(yōu)勢(shì)：

• 環(huán)保性：無(wú)需化學(xué)再生，EDI通過(guò)電場(chǎng)連續(xù)去除離子,，無(wú)二次污染24,。

• 穩(wěn)定性：RO脫鹽率≥99%，EDI產(chǎn)水電阻率≥15MΩ·cm,，滿(mǎn)足半導(dǎo)體,、光伏等高標(biāo)準(zhǔn)需求35。

• 自動(dòng)化：PLC控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電導(dǎo)率,、TOC、壓力等參數(shù),，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守14,。

二、關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)

1. 預(yù)處理系統(tǒng)

• 多介質(zhì)過(guò)濾器：去除懸浮物,、膠體,、鐵銹（精度≥5μm）14。

• 活性炭過(guò)濾器：吸附余氯,、有機(jī)物,，保護(hù)RO膜性能15,。

• 軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO膜結(jié)垢（原水硬度高時(shí)必選）35,。

• 精密過(guò)濾器：5μm濾芯,，進(jìn)一步保護(hù)RO膜14。

2. 反滲透（RO）系統(tǒng)

• 高壓泵：316L不銹鋼材質(zhì),，提供進(jìn)水壓力（1.0-1.5MPa）14,。

• RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類(lèi)膜，脫鹽率≥99%,，產(chǎn)水5噸/小時(shí)35,。

• 回收率：60-75%（根據(jù)原水TDS調(diào)整）4。

3. EDI精處理單元

• EDI模塊：電滲析與離子交換樹(shù)脂結(jié)合,，連續(xù)去除殘余離子,，產(chǎn)水電阻率≥15MΩ·cm24。

• 拋光混床（可選）：核級(jí)樹(shù)脂進(jìn)一步除鹽,，電阻率提升至≥18.2MΩ·cm（超純需求）35,。

4. 后處理與儲(chǔ)存

• UV殺菌器：254nm波長(zhǎng)滅活微生物，防止儲(chǔ)水箱二次污染35,。

• 終端過(guò)濾：0.22μm微孔濾膜,，確保顆粒物＜1ppt4。

• 儲(chǔ)水箱：316L不銹鋼材質(zhì),，氮?dú)獗Ｗo(hù)或循環(huán)抑菌系統(tǒng),，容量≥5噸14。

三,、技術(shù)參數(shù)與合規(guī)性

四,、運(yùn)維與成本

1. 維護(hù)要點(diǎn)：

• 預(yù)處理：每3-6個(gè)月更換濾芯,，定期清洗RO膜（酸/堿洗）45。

• EDI模塊：檢查電流,、電壓,，防止結(jié)垢或通道堵塞25。

2. 運(yùn)行成本：

• 能耗：約2-3元/噸（電費(fèi)+泵耗）4,。

• 耗材：RO膜壽命3-5年,，EDI模塊5-8年，混床樹(shù)脂1-2年更換