隔離式測(cè)壓元件的應(yīng)用廣泛性
電子壓力測(cè)量是指使用 傳感器測(cè)量的壓力并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行記錄的過(guò)程,。由于大的輸出信號(hào)和完備的制造工藝,,以及多年積累的經(jīng)驗(yàn), 壓阻技術(shù)已在壓力測(cè)量領(lǐng)域成為一種通用的技術(shù),。
電阻式壓力測(cè)量以電阻變化作為測(cè)量依據(jù),,電阻值隨待測(cè)壓力的變化而變化。測(cè)量電阻元件集成在壓敏器件中,,根據(jù)壓力變化,,它們要么拉伸(電阻增大),要么壓縮(電阻減?。?。壓力越大,膜片變形越大,,這意味著電阻變化的程度直接取決于壓力,。此外,在壓阻電阻器中,,拉伸或壓縮時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械張力也會(huì)導(dǎo)致導(dǎo)電性的變化,。這種壓阻效應(yīng)基于原子位置的位移,直接影響電荷傳輸,。導(dǎo)電性變化引起的電阻變化可能比純變形引起的電阻變化要大得多,。
壓阻式傳感器硅片的基礎(chǔ)是厚度小于1毫米的晶體硅圓盤,稱為晶圓,。在晶圓表面的某些特定點(diǎn)會(huì)注入一些其他原子,。硅中的這些摻雜區(qū)域形成壓阻電阻器。在隨后的步驟中,,然后以直接在硅中形成膜片的方式在局部基礎(chǔ)上對(duì)晶圓進(jìn)行減薄,。如果膜片變形,則電阻值會(huì)根據(jù)布放位置的不同增加或減少,。之后,,硅的背面牢固地鍵合到玻璃上。對(duì)于絕對(duì)壓力傳感器,,
玻璃與硅片之間會(huì)形成一個(gè)密封的真空區(qū)域作為參考側(cè),。測(cè)量相對(duì)壓力時(shí),,
玻璃后方會(huì)開(kāi)一個(gè)參考?jí)毫住?/p>
為了將傳感器芯片與待測(cè)介質(zhì)隔離,傳感器芯片安裝在一個(gè)壓力密封的
金屬外殼中,,該外殼充滿油,,前端用薄膜片密封。然后,,壓力通過(guò)該膜片
和作為傳輸介質(zhì)的硅油作用于傳感器芯片,。