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當(dāng)前位置:深圳市科時達(dá)電子科技有限公司>>勻膠機(jī)/熱版機(jī)>> 勻膠機(jī) BASIXX ST20+
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2023-02-21 18:59:48瀏覽次數(shù):74次
聯(lián)系我時,,請告知來自 化工儀器網(wǎng)有機(jī)太陽能電池勻膠機(jī) WS-650Mz-23N
小巧經(jīng)濟(jì)型勻膠機(jī) OS-E461
BASIXX ST20+(?200毫米)臺式旋涂機(jī),,帶電動介質(zhì)臂
BASIXX ST20(?200毫米)臺式旋涂機(jī)
BASIXX ST20+ 實(shí)驗室臺式勻膠機(jī)
是一款緊湊的旋涂,,顯影,清潔和干燥半自動系統(tǒng),旨在為科學(xué)和研究領(lǐng)域的用戶提供高效,,安全和清潔的實(shí)驗室系統(tǒng),。 該設(shè)備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理,,例如編寫,編輯,,保存和加載,。 服務(wù)區(qū)提供用于手臂和旋轉(zhuǎn)板以及介質(zhì)控制的設(shè)置選項。 還集成了可通過USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能,。
特點(diǎn):
÷ 直驅(qū)無刷微調(diào)電機(jī)
÷ 全軸電機(jī)驅(qū)動且可編程
÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 旋轉(zhuǎn)器蓋傳感器控制
÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序
÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼
÷ 外殼上的電源開關(guān)ON / OFF
÷ 配備標(biāo)準(zhǔn)的水坑噴嘴,,通過水坑噴嘴注入溶劑
÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán),便于清潔
÷ 可處理圓形晶片,,尺寸為?200mm(?8英寸)
÷ 可處理方形基板,,尺寸為150 x 150毫米(6 x 6英寸)
÷ 標(biāo)配最多安裝3個介質(zhì)管線/噴嘴(可選:最多5個介質(zhì)管線/噴嘴)
÷ 可視真空控制儀
÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統(tǒng)運(yùn)行來控制
÷ 含0.5 Itr的廢液瓶
÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統(tǒng)的電動介質(zhì)臂
÷ 可作為臺式安裝,也可做獨(dú)立裝置使用
÷ 簡單且經(jīng)濟(jì)高效
÷ 專為研究所,,實(shí)驗室和基礎(chǔ)研發(fā)而設(shè)計
應(yīng)用于:旋涂,,顯影,清潔和干燥
產(chǎn)品參數(shù):
可處理襯底尺寸:直徑為?200mm(?8英寸)圓片,,或為150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片,;
旋轉(zhuǎn)速度:10,000rpm *,(以rpm步長為單位),;
加速度:4.000 rpm / sec *,;
處理時間:1至999,9sec,以0.1秒為步,;
處理碗:可更換,,聚丙烯(PP)材質(zhì)
腔體:白色(PP)材質(zhì)
固定晶圓片或襯底的裝置:真空托盤;
電源:230(208)VAC / 1Phase/ N / PE / 50(60)Hz
真空:-0.8 bar / -600 Torr,,管外直徑6 mm
排氣-過程:1x外徑38毫米,,約 30立方米/小時
氮?dú)猓蛇x):4土0.2 bar,PFA管外徑6 mm
CDA(可選):8土2bar,,管外徑8mm,。
選配項:
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
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