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超純水系統(tǒng)在制備超純水時，是用反滲透法對進(jìn)入離子交換樹脂的原水預(yù)脫鹽,，然后用超濾和微孔過濾除去水中的微粒和微生物,。

在超純水系統(tǒng)中采用反滲透法制造超純水的優(yōu)點為：脫鹽率高，產(chǎn)水量大,，化學(xué)試劑消耗少,，勞動強(qiáng)度低，水質(zhì)穩(wěn)定,，離子交換樹脂壽命長,，終端過濾器壽命延長；缺點：需要高壓設(shè)備,，原水利用率只有75%-80%,，膜要進(jìn)行定期清洗。

超純水系統(tǒng)制備超純水流程有下面幾種形式：

①原水→預(yù)處理→離子交換→UV→離子交換→MF→用水點

②原水→預(yù)處理→離子交換→RO→UV→離子交換→MF→用水點

③原水→預(yù)處理→RO→離子交換→UV→離子交換→UF→用水點

④原水→預(yù)處理→離子交換→UV-RO/UF→離子交換→MF→用水點

⑤原水→預(yù)處理→RO→脫氣→離子交換→UV→RO/UF→用水點

⑥原水→預(yù)處理→RO→離子交換→UV→RO/UF→用水點

超純水系統(tǒng)超純水制備的所有流程均包括預(yù)處理,、離子交換,、紫外線殺菌與膜分離裝置,，在用水點之前均設(shè)有膜分離裝置作為終端設(shè)備，同時設(shè)有循環(huán)流程使水質(zhì)穩(wěn)定,，防止菌類污染,。

超純水系統(tǒng)在制備純水時注意的問題有：純水的活度高，極易溶解氣體,，吸收CO2,，所以設(shè)備必須嚴(yán)格密封或充氮保護(hù)。如采用不銹鋼管輸送,，內(nèi)表面要經(jīng)酸洗,，盡量縮短輸送距離，同時要經(jīng)常殺菌防止微生物污染,。新設(shè)備運轉(zhuǎn)前要對整個系統(tǒng)進(jìn)行滅菌,，用活性炭和陽離子交換樹脂在溫度105oC下，滅菌30-60min,，或?qū)渲D(zhuǎn)變?yōu)殁c型后再用0.5%NaCIO溶液浸1-3h,，或用0.5%-1%甲醛進(jìn)行3-8h的循環(huán)或浸泡。超純水系統(tǒng)一般一個月滅菌一次,，對制藥工業(yè)每周滅菌一次,。