應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
追求的大樣品倉FIB系統(tǒng)
在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域
日立雙束(三束)聚焦離子束系統(tǒng)
追求的大樣品倉FIB系統(tǒng)
在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域,,F(xiàn)IB-SEM已成為*的工具,。
近來,,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化,;更薄,,更低損傷樣品的制備需求更進一步凸顯。
日立高新公司,,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),,推出了新一代產(chǎn)品NX2000,。
運用高對比度,實時SEM觀察和加工終點檢測功能,,可制備厚度小于20 nm的超薄樣品
加工方向控制技術(shù)(Micro-sampling®*3系統(tǒng)(選配)+高精度/高速樣品臺*)對于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生,,以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。
Triple Beam®*1(選配)可提高加工效率,,并能使消除FIB損傷自動化