RTF1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)介紹：
(1),、表面溫度高可達(dá)1420℃  

(2),、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意）,、不會(huì)生銹,，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。  

(3),、Kanthal電阻絲資料下載  

(4),、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：www.kanthal.com  

(5)、電阻均衡,、溫場(chǎng)均衡性好  

RTF1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件,，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出  

1,、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,。  

2、采用日本技術(shù)成型,。  

3,、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場(chǎng)  

4,、采用4周加熱,，溫場(chǎng)更加均衡  

1.為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求,?？蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）  

2.如用于供氣系統(tǒng),，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.  

3.轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)功率:40W  

4.電動(dòng)推桿功率:40W  

5.爐子傾斜角度:-10~30度  

6.爐管轉(zhuǎn)動(dòng)速率:采用無級(jí)變速電機(jī)轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min之間可調(diào)  

7.轉(zhuǎn)動(dòng)密封方式:采用轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體密封  

8.四周表面溫度:≤45℃