OTL1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng),，由OTL1200真空管式爐、石英真空室,、射頻電源,、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng),、真空測量系統(tǒng)組成,。  

OTL1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)主要特點：  

1、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài),。  

2,、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。  

3,、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小,。  

4、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積速率高,、均勻性好,、一致性和穩(wěn)定性高。  

5,、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長,，如：SiOx,SiNx,SiOxNy和無定型硅(a-Si:H)等。  

OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件,，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表,，移相觸發(fā),、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,，抽真空時真空度能夠達到10-3Pa,，具有溫場均衡、表面溫度低,、升降溫度速率快,、節(jié)能、*等優(yōu)點,。  

(1),、表面溫度高可達1420℃  

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮,、客戶識別時要注意）,、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣,。  

(3),、Kanthal電阻絲資料下載  

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站

(5),、電阻均衡,、溫場均衡性好  

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開,。  

爐配有通訊接口和軟件,，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出  

1,、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,。  

2、采用日本技術(shù)成型,。  

3,、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場  

4,、采用4周加熱,，溫場更加均衡