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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
SHIMADZU島津分子泵
島津TPM主要用于為制造半導(dǎo)體器件,、太陽能電池和平板顯示器提供高真空環(huán)境,。
島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準(zhǔn)的氣體吞吐量和抽氣速度，可滿足日益嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造的工藝需求,。例如,，使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導(dǎo)體薄膜。
通過渦輪機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生真空環(huán)境,，TMP的抽真空效果已達(dá)到分子流級(jí),。制造半導(dǎo)體和平板顯示器需要清潔、無油的真空環(huán)境,，以保持出色的設(shè)備操作狀態(tài),。島津提供的技術(shù)性能、可靠性和全球技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)使島津TMP成為這類應(yīng)用領(lǐng)域中的組成部分。島津生產(chǎn)多陣容TMP產(chǎn)品系列,。各系列產(chǎn)品具有不同的用途,。
除溫度控制功能和特殊耐腐蝕涂層外，具備高氣體吞吐量的TMP-2404/3304/4304系列的抽速范圍為2100 L/s至4400 L/s,，具有潛在的多種應(yīng)用領(lǐng)域,。
外形緊湊節(jié)能型TMP-X1605/V2304系列中的每一種型號(hào)的TMP均具備集成電源組件，其功耗比具有獨(dú)立電源組件的型號(hào)低15 ％,。
除集成電源外,，TMP-X3405/X4304系列還具備溫度控制功能和耐腐蝕涂層，能滿足制造半導(dǎo)體和平板顯示器（FPD）中對(duì)工藝流程的嚴(yán)格要求,。
此外,，TMP-203至1003系列的眾多產(chǎn)品還具備出色的壓縮比和極限壓力水平，可實(shí)現(xiàn)高真空,。
shimadzu島津磁懸浮渦輪分子泵TMP-3003LM
日本島津磁懸浮軸承渦輪分子泵采用五軸控制磁性軸承系統(tǒng)，無需使用油潤(rùn)滑,，在運(yùn)轉(zhuǎn)過程當(dāng)中,，無任何摩擦，是真正做到無油,、免維護(hù),、安裝的渦輪分子泵。
提供Shimadzu TURBO Pump 日本島津TMP全系列分子泵銷售/維修/保養(yǎng)
超大的排氣流量
• 優(yōu)異的耐腐蝕性能
• 外形緊湊的控制器
• 應(yīng)對(duì)生成物對(duì)策（選購件）
• 各種監(jiān)測(cè)功能
• 網(wǎng)絡(luò)接入對(duì)應(yīng)
• 泵轉(zhuǎn)速可調(diào)
• 消費(fèi)電力削減
• 適用于各種規(guī)格
• 無需調(diào)整（泵電纜更換時(shí),，無需對(duì)控制器再次調(diào)整）
• 無需蓄電池
• 范圍廣且吞吐量大
• 支持?jǐn)?shù)字電源
• 各種監(jiān)測(cè)功能
• 可以進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)連接
• 通過CE認(rèn)證,，SEMI S2認(rèn)證以及
Shimadzu TURBO Pump 日本島津分子泵維修、保養(yǎng)的部分型號(hào):
TMP-X系列 TMP-X2905LMTC,、TMP-X3405LMTC
TMP-LMTC系列 TMP-3403LMTC,、TMP-4203LMTC
TMP-MP/MPC系列 TMP-1103MP、TMP-1103MPC
TMP-LMP/LMPC系列 TMP-1103LMP,、TMP-1103LMPC
TMP-B/SER系列 TMP50,、TMP-B300、TMP280-SER
TMP-I/L-SER系列 TMP280-I-SER,、TMP280-L-SER,、TMP1500-L-SER
TMP-UE/LM-SER系列 TMP802-LM-SER、TMP-2001-UE-SER,、TMP-3001-LM-SER
TMP-V系列
TMP-V1704LM,、TMP-V2304LM、TMP-V2304LM (PB) ,、TMP-V3304LM,、TMP-V3304LM(F)
TMP-LMF/ LMB系列
TMP-1503LMF、TMP-2804LMB/LMF,、TMP-3304LMB/LMF,、TMP-3403LMB/LMF,、TMP-4304LMB/ LMF、TMP-3804LMF/LMC
TMP-M/MC系列 TMP-203M/MC,、TMP-203M-G1TMP-303M/MC,、TMP-403M/MC、TMP-803M/MC,、TMP-1003M/MC,、TMP-1003MC-U2、TMP-1303M/MC,、TMP-1503LMP/LMC,、TMP-2003M/MC、TMP-2003MC-U2,、TMP-2003MC-U1,、TMP-2203M/MC、TMP-3203M/MC
TMP-LM/LMC系列
TMP-203LML/LMC,、TMP-303LM/LMC,、TMP-403LM/LMC、TMP-803LM/LMC,、TMP-803LM-G1,、TMP-1003LM/LMC、TMP-1303LM/LMC,、TMP-1303LMC-G1,、TMP-1503LM、TMP-2003LM/LMC,、TMP-2003LM-3,、TMP-2203LM/LMC、TMP-2804LM/LMC,、TMP-3003LM/LMC,、TMP-3203LM/LMC、TMP-3203LMC-A1,、TMP-3303LM/LMC,、TMP-3304LM/LMC、TMP-3403LM/LMC,、TMP-3403LMC-K1,、TMP-H3603LMC、TMP-H3603LMC-A1,、TMP-H3606LM,、TMP-3804LMC、TMP-4203LMC、TMP-4203LMC-T1,、TMP-4304LM/LMC
