納米壓痕儀是精確,、靈活,、易于使用的納米力學(xué)測試儀器。電磁驅(qū)動器具有很好的力和位移動態(tài)范圍,，可以測量納米到毫米級的變形,。應(yīng)用范圍包括：半導(dǎo)體,、薄膜及MEM（晶圓應(yīng)用）、硬膜及DLC薄膜,；復(fù)合材料,，纖維，聚合物,，金屬,，陶瓷,；生物材料與生物學(xué),。
①納米壓痕設(shè)定,，幾種模式有何不同,？
納米壓痕可分為靜態(tài)位移控制、靜載荷控制和連續(xù)剛度控制,。
連續(xù)剛度只能設(shè)定位移,，而不能設(shè)定載荷，可得到彈性模量,、硬度隨位移變化值,。系統(tǒng)設(shè)定的時間是固定的，一般只有幾秒鐘,。
靜態(tài)位移控制模式,，靜態(tài)負(fù)載控制模式，可設(shè)定至最大位移或最大載荷時,，可設(shè)定較長時間,，一般系統(tǒng)默認(rèn)每點為15秒，也可設(shè)定較長,，如30,、40秒，但時間越長,，收費越高,；負(fù)載模式可控制保載時間，一般默認(rèn)為10秒,，如有特殊要求可適當(dāng)增加時間或適當(dāng)增加,；位移模式不可；靜態(tài)模式不能得到彈性模量,、硬度隨位移變化的變化,，只能得到該點在該深度或載荷作用下的彈性模量及硬度值；
?、跒槭裁醇{米壓痕沒有100%卸載,？
納米壓痕卸載一般在90%以上,，如果用負(fù)載控制的測試方法，將卸載率設(shè)定為100%,，那么就有可能出現(xiàn)熱漂移（卸載后的位移會出現(xiàn)負(fù)值）,；
③壓痕直徑與深度之間的關(guān)系,？
納米壓痕測試壓痕直徑與壓痕深度之間存在一定的轉(zhuǎn)換關(guān)系：一般用概值估算壓痕直徑=7.5×壓痕深度,；
④納米壓痕的壓痕位置無法從圖片中看出,？
因為1）由于壓痕位置上的壓痕位置上的材料本身回彈,，2）樣品表面顏色較深，不太干凈也會造成壓痕位置不清楚,；
?、輭侯^材料？壓頭前端曲率,？
金剛石材料,，玻纖壓頭；新壓頭一般小于20納米但時間長了肯定會很大,，可能是100納米,；
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