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納米定位臺(tái)的工作條件

閱讀：1668 發(fā)布時(shí)間：2022-8-24

考慮到壓電納米定位系統(tǒng)將要運(yùn)行的環(huán)境條件,，對(duì)于獲得既定應(yīng)用的所需結(jié)果非常重要,。

這些條件包括：真空(HV，UHV等)磁場(chǎng),、溫度,、濕氣、外部振動(dòng)等,。

壓電納米位移臺(tái)可由各種材料制成,，例如殷鋼，不銹鋼,，鈦和鋁,。每個(gè)都有優(yōu)點(diǎn),；但是，將壓電平臺(tái)的材料與外部系統(tǒng)的材料進(jìn)行匹配以獲得最佳結(jié)果通常很重要,。鋁是常用的材料,，因?yàn)樗哂辛己玫拿芏?剛度比。這對(duì)于需要磁場(chǎng)的應(yīng)用也很好,。Invar或SuperInvar之類的材料具有較低的熱系數(shù),，當(dāng)無法將溫度考慮因素隔離開時(shí)，它們可以提供穩(wěn)定性,。不銹鋼可用于需要更高剛度以及很高溫度穩(wěn)定性的應(yīng)用中,。當(dāng)強(qiáng)度，穩(wěn)定性和非磁性都非常重要時(shí),，可以考慮使用鈦合金材料,。

壓電納米位移臺(tái)可以在非磁性定位的環(huán)境中運(yùn)行。平臺(tái)的設(shè)計(jì)考慮了特定的應(yīng)用,，并相應(yīng)地由材料制成,。可以針對(duì)特定應(yīng)用設(shè)計(jì)壓電平臺(tái),，選擇本體材料是該過程的重要組成部分,。大多數(shù)平臺(tái)都可以在中低真空下運(yùn)行。

壓電平臺(tái)用于各種不同的環(huán)境,。使用壓電平臺(tái)的設(shè)備中的振動(dòng)可能導(dǎo)致性能低于預(yù)期指標(biāo),。

外部的機(jī)械干擾，附近的設(shè)備以及聲音振動(dòng)都可能導(dǎo)致定位不準(zhǔn)確,。為了獲得最佳結(jié)果,，應(yīng)使用振動(dòng)隔離來幫助控制系統(tǒng)中的外部振動(dòng)。

在外部環(huán)境中工作時(shí),，應(yīng)使壓電納米定位系統(tǒng)不受潮,。溫度的大變化會(huì)導(dǎo)致設(shè)備移出壓電平臺(tái)的控制范圍。應(yīng)該對(duì)此類環(huán)境系統(tǒng)進(jìn)行相應(yīng)規(guī)劃以獲得最佳結(jié)果,。

納米定位臺(tái)的工作條件

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