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參考價	面議

清洗設(shè)備

超聲波清洗

等離子清洗

紫外臭氧清洗

晶圓清洗機(jī)

顯影清洗機(jī)

其他品牌

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價格區(qū)間	2萬-5萬

PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,，采用的射頻電源功率3.0MHz（ 1%）,，輸出功率7.2W,、10.2W,、29.6W三檔可調(diào),。本機(jī)主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）,，對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,。

詳細(xì)介紹

PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%）,，輸出功率7.2W,、10.2W、29.6W三檔可調(diào),。本機(jī)主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）,，對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,。該等離子清洗機(jī)體積小，占用的空間少,，可有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間,。設(shè)備配有一個雙旋真空泵，可對腔體進(jìn)行抽真空,，同時通入氬氣等氣體,，適用于對易氧化的物品的清洗。

產(chǎn)品型號	PCE-6小型等離子清洗機(jī)
主要特點(diǎn)	1、通過控制面板的按鍵及開關(guān),，可控制調(diào)節(jié)射頻功率,、真空泵的開閉、清洗時間,。 2,、時間、功率,、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上,。 3,、設(shè)有一個三通閥,，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體,，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口,。 4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn),。
技術(shù)參數(shù)	1,、電源：AC220V 50/60Hz 2、輸出功率：7.2W,、10.2W,、29.6W 3、真空泵功率：<500W 4,、總功率：<600W 5,、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié) 6,、等離子腔體：高純石英腔體,，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,，法蘭上設(shè)有Φ45 mm的觀察窗 7,、真空泵：240L/min，直連式雙旋真空泵 8,、極限真空度：50mtorr 9,、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2,、Ar,、H2、O2,、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：400mm×300mm×300mm,，重量：10.2kg
可選配件	1、2″-6″石英舟（盛放基片） 2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)