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目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>實驗室檢測及分析儀器>>橢偏儀>> ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀

ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀
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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 沈陽市
屬性

產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 價格區(qū)間:面議

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更新時間:2019-02-15 11:01:05瀏覽次數(shù):2648評價

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
ME-L是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,,凝聚了科研團(tuán)隊在橢偏技術(shù)多年的投入,,其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補(bǔ)償器,、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制,、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等??蓱?yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu),,半導(dǎo)體周期性納米結(jié)構(gòu),新材料,,新物理現(xiàn)象研究,,平板顯示,光伏太陽能,,功能性涂料,,生物和化學(xué)工程,,塊狀材料分析以及各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表

 

產(chǎn)品型號

ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀

主要特點

1,、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

2、可實現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,,測量信息量更大,,測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn)

3,、基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置,,可一次測量獲得全部穆勒矩陣的16個元素,相對傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息

4,、確保在寬光譜范圍內(nèi),,提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜

5、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫,、多種算法模型庫,,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

6、集成對納米光柵的分析,,可同時測量分析納米結(jié)構(gòu)周期,、線寬、線高,、側(cè)壁角,、粗糙度等幾何形貌信息

技術(shù)參數(shù)

1、應(yīng)用:科研級/企業(yè)級

2,、基本功能:Psi/Delta,、R/T、穆勒矩陣等光譜

3,、分析光譜:380-1000nm(支持?jǐn)U展至210-1650nm)

4,、單次測量時間:1-8s

5、重復(fù)性測量精度:0.005nm

6,、精度(直通測量空氣)

  橢偏參數(shù):ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩陣:對角元素m=1±0.005,;非對角元素m=0±0.005

7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm,;微光斑200μm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動:45-90°

手動:55-75°(5°步進(jìn)),90°

固定:65°

其他選擇

Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺:室溫一600C(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺

 

2

Mapping擴(kuò)展模塊

 

3

真空泵

 

4

透射吸附組件

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