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產(chǎn)品型號

    2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC

主要特點

    1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料,，用于支撐石墨坩堝,，并防止熱量輻射。

    2,、設有自動水壓,、過熱、功率過高保護系統(tǒng),。

    3,、溫控器采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序,，設有過熱和斷偶保護功能,。

    4、配有防腐型真空計,，當氣壓在10mbar以上時,，不需因測量氣體種類的不同進行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到

         3.8×10E-5 torr,。

    5,、迷你型浮子流量計精度為4%。

    6,、配有雙級旋片機械泵（2L/s）,，可使石英管內(nèi)真空度達到10E-2torr。

技術參數(shù)

　感應加熱器

    1,、工作電壓：三相AC 380 V  50Hz（需60 A空氣開關）

    2,、工作電流：7Amps-70Amps（需100A空氣開關）

    3、功率：zui大振蕩功率30KW,，zui大輸入功率15KW

    4,、輸出頻率：30KHz-110 KHz

    5、占空比：80%

    6,、感應線圈：內(nèi)徑Φ220 mm,，高65 mm

    7、空氣冷卻：后風扇

　溫度控制器及熱電偶

    1,、工作電壓：AC208V-240V  單相

    2,、控溫精度：±3℃

    3,、熱電偶：C型，外徑Φ1/4″,，長10″

    4,、連續(xù)工作溫度范圍：1000℃-2000℃

    5、zui大升溫速率：4℃/s（1000℃-1200℃）,、3℃/s（1200℃-1500℃）,、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）

　石墨坩堝（易耗件）

    1、高純石墨坩堝：外徑Φ114mm,，內(nèi)徑Φ100mm,，高142mm

    2、zui大容量：樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2,，zui大質(zhì)量為4kg（以鐵標定）

    3,、保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從內(nèi)至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫

                          1700℃）-高溫氈,，總厚度為32mm

　石英管和密封法蘭

    1,、石英管：兩端開口，外徑Φ216mm,，內(nèi)徑Φ208mm,，長500mm

    2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭,，裝有防腐型真空計,、不銹鋼截止閥，設有1個1/4″的鎧裝接口（

                              可插入熱電偶至石英管內(nèi)部,，更準確地測量樣品溫度）

    3,、底部法蘭：設有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接

　水冷機

    1,、溫度：5℃-30℃

    2,、水流速：>16L/min

    3、水箱容積：12L,，采用不銹鋼制作

    4,、水壓：≥0.1MPa

    5、流量：≥5L/min

   （建議使用特定的冷卻劑液以達到*的冷卻效果）

　真空泵

　工作電壓：AC208V-240V單相

　移動爐架

　尺寸：700mm×1000mm×700mm,，鋼框架結(jié)構(gòu),，方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管

產(chǎn)品規(guī)格

注意事項

　操作前，必須仔細閱讀說明書,，且操作人員需帶防護面罩,。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣

    下進行，流量小于200ml/min,，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內(nèi)

    的氣壓,，若氣壓超過安全值,，會引起石英管開裂、法蘭蹦出,，甚至造成人身傷害,。

其他事項

　本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請參看下圖,。