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產品型號

  6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S

主要特點

  1、雙層殼體,，配有循環(huán)風冷系統(tǒng),。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,，環(huán)保節(jié)能,。殼體溫度<70℃,。

  2、采用不銹鋼真空密封法蘭,，使用雙硅膠密封圈進行密封,。

  3,、設有雙K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。

  4,、采用PID控制器 ,，可以設置30段升降溫程序。

  5,、已通過CE認證,。

技術參數(shù)

  1,、電源：AC 220V  8KW

  2,、石英管：內徑Φ152mm，長1016mm

  3,、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲

  4,、加熱區(qū)域：600mm

  5、恒溫區(qū)域：200mm

  6,、工作溫度：zui高1100℃,，連續(xù)工作400℃-1000℃

  7、zui大升降溫速率：10℃/min

  8,、熱電偶：雙K型

  9,、控溫精度：±1℃

  10、真空度：10^-2torr（機械泵）,，10^-5torr（分子泵）

  11,、鎧裝熱偶檢測口：1個

  12、真空接口：KF40

產品規(guī)格

  尺寸：1000mm×680mm×920mm,；重量：250kg

標準配件

1

  石英管

1根

2

  氧化鋁管堵

2個

可選配件

  1,、軟件接口模塊和PC機

  2、石英管

  3,、石英管堵

  4,、K型熱電偶（Φ6.35mm×915mm，用于對爐膛溫度校準）

  5,、真空泵