目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>真空鍍膜機>>蒸發(fā)鍍膜>> OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐
| 產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
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OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門用于PVD或CSS法制作薄膜,；其爐管外徑為11″,，爐管內載樣盤可放置3″ 的圓形或2″×2″的方形基片；OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐加熱元件為兩組紅外燈管,，分別安裝在腔體頂端和底部,，升溫速率高達20℃/s ，可迅速使爐腔內溫度升高,；冷卻速率：>10℃/s,，可在鍍膜后使樣品快速降溫；溫控系統(tǒng)采用PID30段程序化控制，控溫精度為±1℃,，并且儀器面板上帶有RS485接口,，若儀表內配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導出,。
產品名稱 | OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐 |
產品型號 | OTF-1200X-RTP-II |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用,。 1,、水：設備需選配自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz（20A空氣開關）,，必須有良好接地 3,、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接 頭） 4,、工作臺：設備為落地式,，占地面積1m2以上 5、通風裝置：需要 |
主要特點 | 1,、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果,，加熱元件被嵌在水冷機構上。 2,、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Ø76mm×0.5mm）,，使得樣品基片上的溫度更加均勻。 3,、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上,，用于盛放蒸發(fā)料。 4,、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封,，通過機械泵其腔內真空度可達10-2torr，通過分子泵真空度可達10-5torr,。 5,、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動,。 6,、一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以精 確測量腔內真空度,。 |
技術參數(shù) | 1,、電源：單相AC208V-240V（需20A的空氣開關） 2、真空腔體：高純石英管,，外徑280mm,，內徑275mm，高229mm 3、加熱元件：兩組IR紅外燈管,，額定功率800W,，總功率1600W 4、熱電偶：S型熱電偶2個,，分別安裝于上下法蘭上 5,、工作溫度：兩個加熱區(qū)域單獨工作的極限溫度≤650℃，兩加熱區(qū)域極限溫差≤350℃ 6,、加熱速率：>8℃/s 7,、冷卻速率：>10℃/s（600℃-100℃） 8、真空法蘭：316不銹鋼制作,，配有1個KF-25接口,、2個1/4″軟管接頭 9、真空計：數(shù)字式真空顯示計 |
可選配件 | 1,、PC控溫軟件 2,、兩路混氣系統(tǒng) 3、多路浮子混氣系統(tǒng) 4,、多路質子混氣系統(tǒng) 5,、真空泵 6、水冷機 |
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