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產(chǎn)品型號(hào)

  混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z

主要特點(diǎn)

  精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠,，工作壓力范圍寬,，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便,。

技術(shù)參數(shù)

  1,、電源：185-245V  50Hz

  2,、zui大輸出功率：18W

  3,、控制范圍：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM,、

                            控制器3——1-199SCCM,、控制器4——1-499SCCM

  4、zui大壓力：3×10⁶  Pa

  5,、準(zhǔn)確度：±1%FS

  6,、線性：±0.5-1.5%

  7、重復(fù)精度：±0.2%FS

  8,、響應(yīng)時(shí)間：氣特性1-4s,，電特性10s針閥：316不銹鋼

  9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa

  10,、壓力表測(cè)量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）

  11,、混氣罐：Φ80mm×120mm

  12、截止閥：Φ1/4″,，316不銹鋼針閥

  13,、工作溫度：5-45℃

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：600mm×600mm×650mm