勻膠機主要應(yīng)用于微機電系統(tǒng)的微加工,、生物,、材料、半導(dǎo)體,、制版,、新能源、薄膜,、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域或樣件較小無法使用提拉涂膜或刮膜的方式進(jìn)行涂膜的基片的涂膜,。通常固定樣品的方式有兩種:真空吸盤固定樣品、帶卡槽的樣品盤固定樣品,。用真空吸盤固定樣品時需要有抽真空的裝置,,真空吸附適用于固定表面光滑,平整度好,,受真空吸力不變形的基片,;帶卡槽的樣品盤可用于質(zhì)軟、形狀不規(guī)則的,、尺寸較大的基片的固定,。
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