NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度,、表面輪廓、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀優(yōu)勢(shì)

?美國(guó)硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件

?關(guān)鍵硬件采用美國(guó),、德國(guó),、日本等品牌

?PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)

?Nikon干涉物鏡

?NI信號(hào)控制板和Labview64控制軟件

?TMC光學(xué)隔振臺(tái)

?測(cè)量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到高級(jí)水平(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院證書(shū))