可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、最高測速下分辨率高等優(yōu)點,。

產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時,；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強,、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文,、英文和俄文語言,，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/span>

產(chǎn)品配置

　　SJ6800激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

其中,，線性鏡組為標配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償。

產(chǎn)品功能特點

• 可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

• 可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

• 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

• 可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

• 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

• 支持手動或自動進行環(huán)境補償,。

激光干涉儀應(yīng)用：組裝機床高校、機床直線度測量,、機床測量,、數(shù)據(jù)機床校準,、機床回轉(zhuǎn)軸測量、龍門加工中心測量,、激光切割機測量,、自動化設(shè)備測量、長導(dǎo)軌測量,、加工中心回轉(zhuǎn)軸測量,、測量機床傾斜軸線測量